3月3日晚，中芯国际发表公告称，公司与ASML阿斯麦公司签订购买协议，根据阿斯麦购买单购买的阿斯麦产品定价，阿斯麦购买单的总代价为12亿美元（约合人民币78亿元）。

公告披露，2021年2月1日，中芯国际与阿斯麦上海签订了经修订和重述的阿斯麦批量采购协议。据此，阿斯麦批量采购协议的期限从原来的2018年1月1日至2020年12月31日延长至从2018年1月1日至2021年12月31日。

ASML是全球最重要的光刻机生产商，中芯国际并没有透露签订的协议具体内容，不过12亿美元的总价值不低，最贵的EUV光刻机也就是1.2亿美元，所以这次签订的协议供应量差不多是10台以上。

来自证券时报的消息称，记者从业内资深人士处了解到，除了EUV光刻机，中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机，包括DUV（深紫外）光刻机。

此前，ASML的CFO在财报会议的视频采访中表示：如果宽泛地理解相关规则对AMSL的整体意义，ASML将能够从荷兰向中国客户(包括中芯国际)提供DUV光刻系统，且无需出口许可证。不过，如果涉及直接从美国运往此类客户的零件或系统，ASML则需要为此申请出口许可证。